Video về công cụ trị giá 400 triệu USD của Intel.

Máy quang khắc cực tím (EUV - Extreme ultraviolet lithography) rất lớn, có kích thước bằng một chiếc xe buýt trường học. Và chúng cũng đắt tiền. Chỉ có công ty ASML của Hà Lan mới có khả năng sản xuất những chiếc máy dùng để khắc các mẫu mạch điện trên tấm silicon. Khi các con chip ngày càng nhỏ hơn và mang theo hàng tỷ bóng bán dẫn, những mẫu này phải mỏng hơn tóc người và đó là lúc các máy EUV ra đời.

Thế hệ máy EUV mới nhất, được gọi là EUV High-NA, dự kiến được sử dụng để giúp chế tạo chip trên quy trình2nm trở xuống. Vàotháng 12 vừa qua, Intel là công ty đầu tiên mua chiếc máy trị giá 400 triệu USD này và có kế hoạch sử dụng chúng để sản xuất chip sử dụng nút quy trình 1,8nm 18A (18 angstrom) bắt đầu từ năm tới (với số lượng hạn chế).

Ảnh minh hoạ.

Cách đây vài năm, Intel đã cam kếtsẽ giành lại vị trí dẫn đầu về quy trình sản xuất chip từ TSMC và Samsung Foundry. Hai xưởng đúc này sẽ đạt tiến trình 2nm vào nửa cuối năm tới. Tuy nhiên, mục tiêu chính của Intel là học cách sử dụng máy một cách hoàn hảo để công ty không gặp vấn đề gì khi sản xuất số lượng lớn bằng quy trình 14A (1,4nm) dự kiến bắt đầu vào năm 2027.

Thực tế, các bóng bán dẫn nhỏ hơn đồng nghĩa với chip có thể chứa nhiều bóng bán dẫn hơnvà số lượng bóng bán dẫn của thành phần càng cao thì con chip đó càng mạnh và/hoặc tiết kiệm năng lượng hơn.

Dòng iPhone 11 năm 2019 được cung cấp sức mạnh bởi SoC A13 Bionic 7nm chứa 8,5 tỷ bóng bán dẫn. SoC A17 Pro 3nm (bên trong cặp iPhone 15 Pro và iPhone 15 Pro Max 2023) chứa 19 tỷ bóng bán dẫn trong mỗi chip.

Intel đã mua máy Twinscan EXE:5000 High-NA EUV của ASML và phíaASML đã giao cho Intel250 thùng riêng biệt, nặng tới 330.000 pound. Mặc dù thiết bị này đã được lắp đặt tại nhà máy của Intel nhưng sẽ phải mất 6 tháng làm việc của 250 kỹ sư ASML và Intel để lắp đặt hoàn toàn. Thêm nữa, Intel có thể mất vài tuần hoặc vài tháng để hiệu chỉnh máy in ở8nm so với13nm mà các máy EUV Low-NA hiện tại in ra.

ASML cho biết đã nhận được 10-20 đơn đặt hàng máy EUV NA cao từ các công ty như TSMC, Samsung Foundry và SK Hynix.